지식 포럼 - J-Hub

OPC 2026.04.11

OPC 모델링 (OPC Modeling)

**반도체 OPC 모델링(OPC Modeling)**이란, 노광 공정(Lithography)에서 마스크 패턴이 웨이퍼 상에 실제로 어떻게 인쇄될지를 물리적·수학적 시뮬레이션을 통해 예측하는 ‘예측 지도’를 만드는 과정을 의미합니다.단순히 패턴을 수정하는 기술이 OPC라면, 그 수정을 위해 "빛이 어떻게 번질지, 감광액(…

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OPC 2026.04.11

반도체 리소그래피 및 계산 리소그래피 학습 가이드

반도체 리소그래피 및 계산 리소그래피 학습 가이드이 학습 가이드는 반도체 제조 공정의 핵심 기술인 계산 리소그래피(Computational Lithography), 광학 근접 보정(OPC), 그리고 관련 시장 동향 및 기술적 분석을 체계적으로 이해하기 위해 제작되었습니다. 제공된 소스 자료를 바탕으로 주요 개념을 복습하…

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OPC 2026.04.11

광학 근접 보정(OPC) 및 전산 리소그래피 기술 데이터

기술/솔루션 이름분류주요 기능이점 및 성능 향상관련 하드웨어/플랫폼주요 기업/출처 기관비고 (가정)출처Optical Proximity Correction (OPC)RET (Resolution Enhancement Technique)광학 및 공정 유발 변동을 보상하기 위해 마스크 패턴을 반복적으로 조정하여 웨이퍼의 패턴 …

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OPC 2026.04.11

반도체 OPC (Optical Proximity Correction)란?

1. 반도체 OPC (Optical Proximity Correction)란?반도체 회로가 나노미터($nm$) 단위로 미세해지면서, 빛을 이용해 웨이퍼에 회로를 그릴 때 빛의 **회절(Diffraction)**이나 간섭(Interference) 현상으로 인해 설계도와 실제 결과물이 다르게 나오는 문제가 발생합니다.OPC…

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