전공정(FAB)
감광액 도포 (Photoresist Coating)
감광액 도포(Photoresist Coating)는 포토리소그래피 공정의 첫 단계로, 깨끗한 웨이퍼 표면에 빛에 반응하는 액체 감광액(PR)을 얇고 균일하게 바르는 과정입니다. 웨이퍼를 고속 회전시켜 원심력을 이용하는 스핀 코팅 방식을 주로 사용합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03