PROCESS
건식 산화
산소 기체만 사용하여 박막 품질이 우수한 게이트 산화막 등을 형성할 때 사용합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03
산소 기체만 사용하여 박막 품질이 우수한 게이트 산화막 등을 형성할 때 사용합니다.