PROCESS
얼라인먼트
이전 공정 패턴과 현재 마스크의 위치를 나노미터 단위로 정밀하게 맞추는 정렬 작업입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03
이전 공정 패턴과 현재 마스크의 위치를 나노미터 단위로 정밀하게 맞추는 정렬 작업입니다.