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틸트 / 트위스트
채널링을 막기 위해 웨이퍼를 미세하게 기울이거나 회전시켜 주입하는 각도 제어입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03
채널링을 막기 위해 웨이퍼를 미세하게 기울이거나 회전시켜 주입하는 각도 제어입니다.