설비/장비(Equip)
Actinic Mask Inspection (액티닉 마스크 검사)
극자외선(EUV) 리소그래피용 마스크의 결함을 검출하기 위해 실제 EUV 파장(13.5 nm)의 빛을 사용하여 수행하는 검사 방식입니다. 기존의 딥 UV(DUV) 파장 검사로는 EUV 마스크의 미세 결함이나 3D 효과를 정확히 반영하기 어렵기 때문에, 실제 노광 조건과 동일한 파장을 사용하여 결함을 정확히 찾아내고 웨이퍼 전사 시의 영향을 예측하는 데 필수적입니다. 이는 EUV 마스크 품질 확보 및 수율 향상에 매우 중요합니다.
최종 업데이트: 2026.04.04