Actinic Patterning Inspection (API) (액티닉 패터닝 검사)

액티닉 패터닝 검사(API)는 극자외선(EUV) 리소그래피 공정에서 웨이퍼 상에 형성된 감광제(레지스트) 패턴을 실제 EUV 광원을 사용하여 검사하는 기술입니다. 이는 마스크 검사(AMI)를 넘어, 레지스트 노광 및 현상 과정에서 발생하는 미세 결함이나 패턴 변형을 실제 제조 환경과 동일한 파장으로 직접 측정함으로써, 보다 정확하고 실제적인 공정 제어를 가능하게 합니다. 특히 고-NA EUV와 같이 미세 패턴에서 확률적 효과(Stochastic Effects)가 중요해지는 차세대 노드에서 수율(Yield) 향상과 공정 최적화를 위한 필수적인 도구로 자리 잡고 있습니다.