전공정(FAB)
Advanced Process Control (APC) (고급 공정 제어)
통계적 공정 관리(SPC)를 넘어, 공정 파라미터의 변동을 실시간으로 감지하고 자동으로 보정하여 공정 안정성과 생산성을 극대화하는 지능형 제어 시스템입니다. 센서 데이터를 기반으로 예측 모델을 사용하여 다음 웨이퍼 또는 랏(lot)의 공정 조건을 동적으로 조정하는 런투런(Run-to-Run) 제어 등이 포함됩니다. APC는 미세 공정에서 공정 편차를 최소화하고 수율을 극대화하는 핵심 기술입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03