설비/장비(Equip)
AFM (Atomic Force Microscope) (원자력 현미경)
시료 표면과 탐침(Tip) 간의 원자간 힘(van der Waals force)을 이용하여 시료의 3차원 표면 형상을 나노미터 이하의 해상도로 측정하는 장비입니다. 비접촉 또는 접촉 방식으로 표면 거칠기, 높이, 패턴 구조 등을 분석합니다. 웨이퍼 표면의 미세 결함이나 박막 성장 특성 평가에 광범위하게 사용됩니다.
최종 업데이트: 2026.04.03