설비/장비(Equip)
AMHS (Automated Material Handling System) (자동화된 자재 이송 시스템)
반도체 팹 내부에서 웨이퍼 폽(FOUP)이나 마스크 레티클 포드(Reticle Pod) 등을 자동으로 운반하고 저장하는 시스템입니다. 천장 레일(OHS/OHT), 로봇 등이 포함됩니다. 인력 개입을 최소화하여 생산 효율을 높이고, 오염 및 웨이퍼 손상 위험을 줄여 수율 향상에 기여합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03