전공정(FAB)
Annealing (어닐링)
반도체 공정 중 웨이퍼에 열을 가하여 물질의 결정 구조를 개선하고, 공정 중 발생한 손상을 복구하며, 도펀트를 활성화시키거나 박막의 응력을 완화하는 열처리 기술의 총칭입니다. 어닐링 온도와 시간은 소자의 전기적 특성과 신뢰성에 큰 영향을 미치며, 특히 이온 주입 후 도펀트의 유효화를 위해 필수적으로 수행됩니다. 급속 열처리(RTA)와 같은 다양한 어닐링 방식이 존재합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03