기초/기타
Antenna Check
반도체 제조 공정 중 발생하는 플라즈마 전하가 금속 배선을 통해 게이트 절연막을 파손하는 '안테나 효과'를 방지하기 위해 수행하는 특수 물리 검사항목입니다. 📐
최종 업데이트: 2026.04.05