전공정(FAB)
Anti-Reflective Coating (ARC) (반사 방지 코팅)
포토레지스트 아래에 증착되어 기판으로부터의 빛 반사를 최소화하는 박막입니다. 빛 반사는 포토레지스트 내부에 스탠딩 웨이브 현상을 일으켜 CD 균일성을 저하시키고 패턴 왜곡을 유발할 수 있습니다. ARC는 이러한 문제점을 해결하여 미세 패턴의 선명도를 높이고 CD 제어를 용이하게 하여 고해상도 리소그래피 공정의 안정성을 향상시킵니다.
최종 업데이트: 2026.04.03