전공정(FAB)
Atomic Layer Annealing (ALA)
ALA는 특정 박막 또는 계면층을 원자층 방식으로 열처리하는 정밀 공정 기술입니다. 이는 기존의 고온 베이크(Bake) 공정에서 발생할 수 있는 열적 스트레스를 최소화하면서, 소재 간의 결합 구조 및 결정성을 최적화하는 것이 목표입니다. 특히, 차세대 초미세 노드에서 요구되는 고성능 유전체나 계면 물질의 전기적 안정성과 열적 내구성을 극대화하여 공정 수율과 트랜지스터 성능을 보장하는 데 필수적입니다.
최종 업데이트: 2026.04.16