설비/장비(Equip)
Atomic Layer Etch (ALE) Equipment (원자층 식각 장비)
원자층 증착(ALD)과 유사하게, 식각 공정을 원자층 단위로 정밀하게 제어하는 장비입니다. 특정 가스를 주입하여 표면 반응층을 형성한 후, 다른 가스나 플라즈마를 이용하여 이 반응층만을 선택적으로 제거합니다. 초미세 패턴의 형상 제어와 표면 손상 최소화에 유리하여 차세대 소자 제작에 활용됩니다.
최종 업데이트: 2026.04.03