전공정(FAB)
Blank Mask (블랭크 마스크)
회로 패턴이 그려지기 전의 깨끗한 포토마스크 원판입니다. 쿼츠 기판 위에 빛을 차단하는 차광막(크롬 등)과 빛에 반응하는 감광액(PR)이 코팅된 상태이며, 이 위에 전자빔 등으로 회로를 그려 포토마스크를 완성합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03