전공정(FAB)
Block Copolymer (BCP) (블록 공중합체)
서로 다른 두 개 이상의 고분자 블록이 공유결합으로 연결된 고분자 물질입니다. 블록 공중합체는 특정 조건 하에서 자체적으로 수 나노미터 스케일의 규칙적인 주기적 나노구조를 형성하는 특성(자기조립, Self-Assembly)을 가지고 있습니다. 이러한 특성은 DSA(Directed Self-Assembly) 공정에서 가이드 패턴을 따라 초미세 회로 패턴을 형성하는 데 활용되는 핵심 소재입니다.
최종 업데이트: 2026.04.04