설비/장비(Equip)
CD-SEM (임계치수 주사전자현미경)
전자빔을 사용하여 나노 단위의 미세한 회로 선폭(Critical Dimension)을 정밀하게 측정하는 장비입니다. 광학 현미경의 한계를 넘어선 높은 해상도로 실시간 생산 라인의 공정 품질을 관리합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03