전공정(FAB)
Chemoepitaxy (화학적 에피택시)
DSA(Directed Self-Assembly) 공정에서 블록 공중합체의 자기조립 방향과 형태를 유도하기 위해 기판 표면에 화학적으로 다른 특성을 가진 가이드 패턴을 형성하는 기술입니다. 블록 공중합체 중 특정 블록에 대한 선호도(affinity)가 높은 영역과 낮은 영역을 나노 스케일로 정교하게 배열하여, 블록 공중합체가 원하는 패턴으로 정렬되도록 유도합니다. 이는 고밀도, 고해상도 패턴 형성의 정렬 정확도를 높이는 데 필수적입니다.
최종 업데이트: 2026.04.04