설비/장비(Equip)
Chiller (칠러)
반도체 제조 장비의 온도(예: 플라즈마 식각 챔버, CMP 헤드 등)를 정밀하게 냉각하고 제어하는 장비입니다. 공정 중 발생하는 열을 효과적으로 관리하여 장비의 안정적인 작동을 보장하고, 웨이퍼의 온도를 일정하게 유지하여 공정 균일성을 높입니다. 온도 제어는 미세 공정의 정밀도와 수율에 직접적인 영향을 미칩니다.
최종 업데이트: 2026.04.03