전공정(FAB)
Defocus (초점 이탈)
디포커스(Defocus)는 노광 공정 시 빛의 초점이 웨이퍼 표면에 정확히 맺히지 않아 회로 패턴이 흐릿하게 형성되거나 왜곡되는 현상을 말합니다. 마스크와 웨이퍼 간의 거리가 최적의 초점 거리에서 벗어나거나, 펠리클 위에 앉은 이물질이 초점 평면 밖에 위치하여 그림자를 흐리게 만드는 경우 발생합니다. 이는 해상도와 패턴 정확도에 직접적인 영향을 미쳐 반도체 수율 저하의 주요 원인이 됩니다.
최종 업데이트: 2026.04.03