DFM

DFM (Design for Manufacturability, 제조 고려 설계)
사용자 정의: 반도체 설계 단계에서 제조 공정의 제약 사항을 반영하여 생산 수율을 높이려는 설계 방식.

상세 설명: 과거에는 설계와 제조가 분리되어 있었으나, 미세 공정으로 갈수록 설계 패턴이 리소그래피 공정 한계에 다다르게 되었습니다. DFM은 설계자가 회로를 설계할 때, 제조 공정에서 발생할 수 있는 왜곡이나 취약점을 시뮬레이션으로 미리 확인하고(리소 체크), 이를 회피할 수 있는 방향으로 설계 규칙(Design Rule)을 수정하거나 패턴을 변경하는 기술입니다.

역할: DFM은 단순히 설계를 수정하는 것을 넘어, SMO나 PV Band 등의 전산 리소그래피 기술을 이용해 공정 윈도우를 최대로 확보할 수 있는 최적의 설계 대안을 제시합니다. 이는 양산 초기 수율(Yield)을 획기적으로 높이고 양산 안정화 기간을 단축하는 핵심 기술입니다.