PROCESS
DHF / SiNx Pellicle
DUV 노광 광원에 최적화된 불화물 또는 질화규소 계열의 전통적인 펠리클 소재입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03
DUV 노광 광원에 최적화된 불화물 또는 질화규소 계열의 전통적인 펠리클 소재입니다.