설비/장비(Equip)
Diffusion Furnace (확산로)
웨이퍼를 고온의 로(Oven)에 넣고 열에너지를 이용해 산화막을 형성하거나(Oxidation) 주입된 불순물을 확산 및 활성화시키는 장비입니다. 주로 배치(Batch) 방식으로 대량의 웨이퍼를 동시에 처리합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03