설비/장비(Equip)
Dry Etcher (건식 식각 장비)
가스 플라즈마를 사용하여 웨이퍼 상의 불필요한 부분(막질)을 물리적, 화학적으로 깎아내는 장비입니다. 나노 단위의 수직 패턴을 형성하는 이방성(Anisotropic) 식각 특성이 우수하여 미세 공정에서 필수적으로 사용됩니다.
최종 업데이트: 2026.04.03