설비/장비(Equip)
E-beam Evaporator (전자빔 증발기)
진공 챔버 내에서 전자빔을 이용하여 금속 또는 유전체 타겟 물질을 가열, 증발시켜 웨이퍼 표면에 박막을 형성하는 장비입니다. 높은 증착 속도와 순도를 제공하며, 다양한 물질의 증착에 활용됩니다. 특히 복잡한 합금이나 고융점 물질의 증착에 효과적입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03