설비/장비(Equip)
Ellipsometer (엘립소미터)
박막의 두께와 굴절률 등 광학적 특성을 측정하는 장비입니다. 웨이퍼 표면에 편광된 빛을 비추고 반사된 빛의 편광 상태 변화를 분석하여 박막의 정보를 얻습니다. 비접촉, 비파괴 방식으로 나노미터 수준의 정밀도로 측정하여 공정 중 박막의 상태를 모니터링하고 제어하는 데 중요한 역할을 합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03