전공정(FAB)
Etch Stop Layer (식각 정지층)
식각 공정 중 그 아래층이 식각되는 것을 방지하기 위해 사용되는 박막입니다. 이 층은 위에 있는 물질과 식각될 아래층 물질과는 식각 선택비가 매우 커서, 식각 공정이 정지층에 도달하면 식각 속도가 급격히 줄어들거나 멈춥니다. 식각 정지층은 미세 구조의 정밀한 깊이 제어와 선택적 식각을 가능하게 하여 복잡한 다층 구조 형성 공정에서 필수적인 역할을 합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03