전공정(FAB)
Etch Uniformity (식각 균일도)
웨이퍼 전체 면적 또는 개별 다이 내에서 식각되는 두께 또는 폭의 균일성을 나타내는 지표입니다. 식각 균일도가 낮으면 소자 간의 특성 편차가 발생하여 수율 저하로 이어질 수 있습니다. 정밀한 식각 균일도 제어는 대량 생산에서 소자의 일관된 성능을 보장하고, 첨단 공정에서 미세 패턴의 신뢰성을 확보하는 데 매우 중요합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03