기초/기타
EUV (Extreme Ultraviolet)
13.5nm의 매우 짧은 파장을 가진 자외선으로, 7nm 이하 초미세 패턴 구현에 필수적인 광원 기술입니다. 📸
최종 업데이트: 2026.04.05
13.5nm의 매우 짧은 파장을 가진 자외선으로, 7nm 이하 초미세 패턴 구현에 필수적인 광원 기술입니다. 📸