전공정(FAB)
EUV Mask (EUV 마스크)
극자외선(EUV) 노광 장비에서 사용되는 특수 마스크로, 투과형이 아닌 반사형 구조를 가집니다. EUV 광원이 거의 모든 물질에 흡수되기 때문에, 수십 층의 몰리브덴(Mo)과 실리콘(Si) 다층막을 쌓아 빛을 반사하도록 설계된 고도의 정밀 공정 산물입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03