설비/장비(Equip)
EUV Scanner (극자외선 노광기)
13.5nm 파장의 극자외선(EUV)을 사용하여 7nm 이하의 초미세 회로 패턴을 형성하는 최첨단 노광 장비입니다. 네덜란드 ASML이 독점 생산하며, 광원 흡수를 방지하기 위해 진공 상태와 반사형 마스크 시스템을 사용하는 것이 특징입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03