설비/장비(Equip)
FFU (Fan Filter Unit) (팬 필터 유닛)
클린룸 천장에 설치되어 공기를 여과하고 순환시켜 청정도를 유지하는 장비입니다. HEPA(High-Efficiency Particulate Air) 또는 ULPA(Ultra-Low Penetration Air) 필터를 사용하여 미세 입자를 걸러냅니다. 반도체 제조 공정에서 필수적인 고청정 환경을 조성하고 유지하는 데 핵심적인 역할을 합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03