전공정(FAB)
FOUP (Front Opening Unified Pod) (전면 개방형 통합 포드)
반도체 웨이퍼를 청정 환경에서 이송하고 보관하기 위해 설계된 밀폐형 용기입니다. 외부 환경으로부터 웨이퍼를 보호하여 오염을 방지하고, 자동화된 웨이퍼 이송 시스템(AMHS)과의 인터페이스를 제공합니다. FOUP는 25개의 300mm 웨이퍼를 담을 수 있으며, 첨단 반도체 팹(Fab)의 자동화 및 청정 유지에 필수적인 요소로 생산 효율성과 수율 향상에 기여합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03