설비/장비(Equip)
Foup (Front Opening Unified Pod) (폽)
반도체 웨이퍼를 외부 환경으로부터 보호하고 이송하기 위한 밀폐 용기입니다. 25장의 웨이퍼를 담을 수 있으며, 공장 내 AMHS(자동화된 자재 이송 시스템)와 클린룸 장비 간 인터페이스 역할을 합니다. 웨이퍼를 안전하게 보관하고 오염을 방지하여 제조 공정의 신뢰성을 높이는 데 기여합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03