설비/장비(Equip)
Four-Point Probe (사점 탐침)
반도체 웨이퍼나 박막의 면저항(Sheet Resistance)을 측정하는 장비입니다. 네 개의 탐침을 웨이퍼 표면에 접촉시켜 전류를 인가하고 전압 강하를 측정하여 저항값을 계산합니다. 도펀트 주입 농도나 금속 박막의 전도성을 평가하는 데 사용되며, 공정의 전기적 특성 변화를 빠르게 모니터링하는 데 유용합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03