전공정(FAB)
Front-End-of-Line (FEOL) (전공정)
전공정(Front-End-of-Line, FEOL)은 웨이퍼 위에 트랜지스터를 형성하고 전기적으로 분리하는 초기 제조 단계를 의미합니다. 산화, 노광, 식각, 증착, 이온 주입 등 핵심 공정들을 통해 수많은 트랜지스터를 집적시키고 각각의 기능을 구현합니다. 이 단계는 극도의 청정 환경인 클린룸에서 진행되며, 칩 성능과 수율을 결정하는 가장 중요한 부분입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03