설비/장비(Equip)
Gas Scrubber (가스 스크러버)
반도체 제조 공정에서 발생하는 유해하거나 독성 있는 배기 가스를 정화하여 외부로 배출하기 전에 안전하게 처리하는 장비입니다. 건식, 습식, 연소식 등 다양한 방식이 있으며, 환경 보호와 작업자 안전을 위해 필수적으로 설치됩니다. 공정 부산물로 인한 환경 오염을 방지하는 중요한 역할을 합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03