공정 소재(Material)
Line Edge Roughness (LER) (배선 가장자리 거칠기)
리소그래피 및 식각 공정 후 형성된 금속 배선이나 게이트 라인의 측면 가장자리가 이상적인 직선 대신 불규칙하게 울퉁불퉁한 정도를 나타내는 현상입니다. LER은 배선의 전기적 저항을 증가시키고, 전류 분포의 불균일성을 유발하며, 특히 미세화된 소자에서 단채널 효과나 누설 전류에 영향을 미쳐 소자 성능 변동성을 증가시킵니다. 정밀한 리소그래피 및 식각 제어를 통해 LER을 최소화하는 것이 중요합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03