전공정(FAB)
Line Edge Roughness (LER) / Line Width Roughness (LWR) (선 가장자리 거칠기 / 선 폭 거칠기)
리소그래피로 형성된 패턴의 가장자리(Edge)가 이상적인 직선에서 벗어나 불규칙하게 울퉁불퉁하거나, 이로 인해 선 폭(Width)이 불균일하게 변동하는 정도를 나타내는 지표입니다. 특히 극자외선(EUV) 리소그래피의 스토캐스틱 효과와 레지스트 특성으로 인해 심화되며, 이는 소자의 전기적 특성(예: 트랜지스터 온/오프 전류, 저항)에 직접적인 영향을 미쳐 성능 및 수율 저하를 야기하는 주요 문제입니다.
최종 업데이트: 2026.04.04