설비/장비(Equip)
Mask Inspection (마스크 검사)
제작된 포토마스크에 결함(오염, 단선, 누락 등)이 있는지 정밀하게 확인하는 공정입니다. 광학 검사 장비나 전자빔(E-beam) 검사 장비를 사용하여 설계 데이터와 대조하거나 인접 다이와 비교하여 고품질 마스크를 선별합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03