공정 소재(Material)
Metal Gate (금속 게이트)
기존 폴리실리콘(polysilicon) 게이트 전극을 대체하여 고성능 트랜지스터에 적용되는 금속 재료로 만들어진 게이트 전극입니다. 금속 게이트는 폴리실리콘 게이트의 고유한 저항 증가 문제와 고유전율(High-k) 유전체와의 호환성 문제(Fermi Level Pinning)를 해결합니다. 낮은 저항으로 스위칭 속도를 향상시키고, 하이-k 유전체와 함께 누설 전류를 줄이며, 미세 공정에서 단채널 효과를 억제하여 소자 성능과 전력 효율을 크게 개선합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03