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Mo와 Si를 40~50층 번갈아 쌓아 EUV 빛을 효과적으로 반사시키는 반사층 구조입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03
Mo와 Si를 40~50층 번갈아 쌓아 EUV 빛을 효과적으로 반사시키는 반사층 구조입니다.