설비/장비(Equip)
MOCVD Reactor (금속유기화학기상증착 장비)
금속 유기 화합물 전구체를 사용하여 III-V족 화합물 반도체(예: GaN, GaAs)나 II-VI족 반도체 박막을 증착하는 장비입니다. LED, 레이저 다이오드, 고속 트랜지스터 등 광전자 소자 및 전력 반도체 제조에 주로 사용됩니다. 균일하고 고품질의 에피 박막 성장에 필수적입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03