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MRC
마스크 공정에서 제조 가능한 수준의 패턴인지(최소 간격 등) 설계 규칙을 검증하는 단계입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03
마스크 공정에서 제조 가능한 수준의 패턴인지(최소 간격 등) 설계 규칙을 검증하는 단계입니다.