기초/기타
Numerical Aperture (NA) (개구수)
렌즈나 광학계가 빛을 모으거나 분해하는 능력을 나타내는 무차원 수치입니다. 리소그래피에서는 웨이퍼에 도달하는 빛의 최대 회절 각도에 사인 값을 취하여 결정되며, NA 값이 높을수록 더 미세한 패턴을 분해할 수 있는 해상도가 증가합니다. High-NA EUV 리소그래피는 이 개구수 값을 0.55 이상으로 극대화하여 초미세 회로 구현의 핵심 동력이 됩니다.
최종 업데이트: 2026.04.04