설계(Design)
OPC (Optical Proximity Correction, 광 근접 효과 보정)
빛의 회절 현상으로 인해 마스크 패턴이 웨이퍼에 왜곡되어 전사되는 것을 방지하기 위해, 마스크 상의 패턴을 의도적으로 변형시키는 기술입니다. 패턴 끝단에 보조 날개를 달거나 모서리를 보정하여 최종적으로 원하는 모양이 웨이퍼에 남도록 합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03