PROCESS
Outgassing
진공 상태인 E-beam 챔버 내에서 마스크 재료가 가스를 방출하여 묘화 품질을 저해하는 현상입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03
진공 상태인 E-beam 챔버 내에서 마스크 재료가 가스를 방출하여 묘화 품질을 저해하는 현상입니다.