설비/장비(Equip)
Parametric Tester (파라메트릭 테스터)
반도체 소자(트랜지스터, 저항, 캐패시터 등)의 전기적 특성(전압, 전류, 저항, 커패시턴스 등)을 정밀하게 측정하는 장비입니다. 웨이퍼 상의 테스트 소자(PCM, Process Control Monitor)를 통해 공정 변동을 모니터링하고, 설계 규격과의 일치 여부를 확인하여 공정 수율 및 품질 관리에 핵심적인 역할을 합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03