설비/장비(Equip)
Particle Counter (파티클 카운터)
공기, 액체 또는 가스 내의 미세 입자(파티클)의 수와 크기를 측정하는 장비입니다. 클린룸 환경, 공정 가스, 화학 용액의 청정도를 실시간으로 모니터링하여 오염원을 제어하는 데 사용됩니다. 반도체 제조 환경에서 파티클 오염은 직접적인 수율 저하로 이어지므로 매우 중요한 관리 장비입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03